Вакуумные клапаны для работы со сверхчистыми газами
Вакуумные клапаны обычно входят в состав большинства вакуумных систем. Они служат для отсечения и герметизации элементов вакуумной системы, таким образом, обеспечивают необходимую последовательность откачки и напуска атмосферы.
На сегодняшний день из-за развития технологий производства, клапаны с диаметром фланца больше чем 160 мм почти не производятся. Это обусловлено тем, что клапаны с большим ДУ будут стоить столько же или дороже, чем затвор того же ДУ.
Основная конструктивная отличительная особенность вакуумного клапана заключается в простоте его конструкции, по сравнению с затвором. Движение тарелки клапана происходит по оси седла и по оси газового потока. Эта особенность существенно уменьшает проводимость вакуумного клапана, по сравнению с затвором такого же типоразмера фланца. Положения входного и выходного фланцев, как правило, находятся под углом 90°, что также снижает пропускную способность.
Вакуумные клапаны могут иметь как прямую (проходную), так и угловую конструкцию, но в большинстве случаев угловая конструкция будет заметно дешевле. И даже если фланцы ориентированы линейно, внутри клапана все равно будет реализован тот же угловой клапан.
Вакуумные клапаны сейчас в основном имеют пневматический привод, электромагнитный или ручной привод; электромеханический привод уходит в прошлое. Также, из-за большой стоимости мощных электромагнитов и больших пусковых токов, обычно клапаны с электромагнитным приводом имеют ограничение по диаметру фланца, не более 40 мм.
