узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные д..
узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные датчики..
узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные д..
узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные д..
узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные д..
узнать цену
Для определения типа и количества остаточных газов в вакуумной камере используются анализаторы остаточных газов, изготовленные и работающие по приципу квадрупольного масс-спектрометра. Встроенные вакуумные д..
узнать цену
Для полного описания вакуума необходимо определить все присутствующие газы, а также определить полное давление. Используемые для этой цели приборы называются анализаторами остаточных газов (Residual Gas Analyzers RGA). Такие..
узнать цену
Анализатор остаточных газов – это масс-спектрометр, состоящий из квадрупольного зонда и электронного блока управления, который присоединяется непосредственно к фланцу зонда и содержит всю электронику, необходимую для работы ..
узнать цену
В комплекте с анализатором поставляется программа для ОС Windows, ПО поддерживает работу с несколькими головными частями. Интуитивно понятийный интерфейс позволяет выполнить измерения и отображать их результаты в различных р..
узнать цену
Анализатор остаточных газов масс-спектрометр присоединяемый непосредственно к рабочей камере, но, в отличии от, Анализаторов остаточных газов с открытым ионным источником (RGA), приборы CIS одновременно подключаются к высоко..
узнать цену
Значительным отличием анализаторов CIS является использование ионизатора из коррозионно-стойких материалов что позволяет использовать ионизатор с закрытым ионным источником для анализа коррозионных газов (таких как WF6 или с..
узнать цену
Другая отличительная черта анализатора остаточных газов с закрытым ионным источником CIS это возможность переключения между двумя диапазонами (RGA mode) и (CIS mode)Параметры ионизатора Диапазон CIS m..
Анализаторы остаточных газов
Компания Extorr несколько десятилетий занимается производством анализаторов остаточных газов (аббревиатура RGA – Residual Gas analyzer) - квадрупольных масс-спектрометров со вакуумными встроенными датчиками Пирани (низкий вакуум) и высоковакуумным ионизационным датчиком. Производятся квадрупольные масс-спектрометры для диапазонов до 100, 200 и 300 а.е.м. Все модели изготавливаются с фланцем ConFlat 2¾ дюйма. Каждый квадрупольный масс-спектрометр снабжен автоматическим выключением и включением, и у него есть автоматическая система контроля в диапазоне от атмосферы до сверхвысокого вакуума (10-12 торр). Данная функция позволяет включить квадрупольный масс-спектрометр при атмосфере, не боясь его выхода из строя. Эти и многие другие функции входят в удобное программное обеспечение, поставляемое с анализатором остаточного газа.
Квадрупольные масс-спектрометры компании Extorr предлагают уникальные характеристики, удобство в работе и надежность. Данные анализаторы остаточных газов выполняют более подробный анализ газов в вакуумной камере по сравнению с другими анализаторами остаточных газов конкурентов.
В поставку входит зонд со встроенными вакуумными датчиками, блок управления и программное обеспечение.
Квадруполь ХТ Extorr идеально подходит для анализа газов, контроля герметичности, мониторинга процессов в вакууме. Часто является единственным датчиком вакуума, необходимым в вашей вакуумной системе – с помощью него легко контролировать как общее давление, так и парциальное давление находящихся в вакуумной системе газов. При этом с помощью одного программного обеспечения можно управлять несколькими квадрупольными масс-спектрометрами! Комбинация гибкости и конкурентная цена сделала анализаторы остаточных газов лучшим измерительным инструментов для вашей вакуумной системы.
Наличие встроенных вакуумных датчиков позволяет автоматически включать и отключать электронный усилитель и RGA. Датчик Пирани выполняет защитные функции для ионизационного датчика и для квадрупольного масс-спектрометра, измеряя, не находится ли RGA под высоким давлением. Ионный источник зонда анализатора остаточных газов это - высокоэффективным источником ионов как для фильтра масс-спектрометра, так и для высоковакуумного датчика Байадр-Альперта. Таким образом, общее давление низковакуумного, высоковакуумного диапазонов и парциальное давление может быть измерено одним анализатором остаточных газов - RGA.
Уникальная конструкция зонда квадрупольного масс-спектрометра. Зонд состоит из источника ионов, детектора и масс-фильтра. Твердо придерживаясь строгих стандартов производства сверхвысоковакуумного оборудования, компания создала новую, усовершенствованную по сравнению с конкурентами конструкцию зонда, при этом большое внимание было уделено надежности работы RGA. Прочная конструкция зонда монтируется к стандартному фланцу ConFlat 23/4’’. Край зонда находится на расстоянии 173 мм от фланца. В зонде анализатора остаточного газа есть 2 нити накаливания из иридия, покрытые торием.
Фланец зонда квадрупольного масс-спектрометра может монтироваться как к патрубку, который монтируется между зондом RGA и вакуумной камеры, так и к фланцу вакуумной системы. В первом случае зонд не находится внутри вакуумной камеры, не мешает проходящим в ней процессам, и не занимает пространство внутри вакуумной камеры. Зонд состоит из самосовмещаемых узлов и деталей, что позволяет после чистки производить его сборку быстро и легко.
Компактный блок управления квадрупольного масс-спектрометра содержит всю необходимую электронику, для управления зондом и передачи данных на компьютер. Для связи с компьютером используется интерфейс RS-232, скорость передачи данных выбирается программно. По умолчанию установлена скорость обмена информацией 115,200 бод . Если Ваш компьютер не имеет СОМ порта, можно использовать адаптер с USB на COM. В этом случае адаптер необходимо устанавливать со стороны компьютера, так как помехозащищенность USB кабеля хуже. Блок питания RGA питается от источника 24 В прямого тока (2.1А). Электропитание к блоку питания подается от обычного сетевого кабеля. Блок управления просто демонтируется от зонда с целью прогрева. Программное обеспечение автоматически обновляется с выходом новой версии. Все характеристики работы зонда RGA блоком управления контролируются и перекидываются на компьютер, эти данные могут быть использованы для диагностики зондов.
Для работы высоковакуумного ионизационного датчика и анализатора остаточного газа используются покрытые иридием ториевые нити накаливания длительного срок службы. В зонде анализатора остаточного газа смонтированы две нити накаливания. Их характеристики и режим работы постоянно диагностируются. В случае выхода из строя одной из нитей накаливания работа продолжается на второй, сигнализируя на компьютере пользователю о необходимости замены первой. Узел нитей накаливания защищен от резкого повышения давления работой высоковакуумного и низковакуумного датчика. Благодаря этой защите нити накаливания RGA имеют более длительный срок службы по сравнению с другими конкурирующими RGA.
В квадрупольных масс-спектрометрах используется чувствительный цилиндр Фарадея на диапазоны масс анализируемых газов от 1 а.е.м. до 100, 200, 300 а.е.м. Широкодиапазонный сверхчувствительный усилитель автоматически определяет ионный ток в диапазоне от 10-6 до 10-15 А. Это позволяет получать точные результаты при измерении давления от 10-4 до 10-11 торр. Большая широта диапазона позволяет видеть на одном скане (графике или таблице) как парциальное давление газов, находящихся в достаточно большом количестве (например, рабочих газов), так и газов, парциальное давление которых сверхмало. Если дополнительно использовать электронной умножитель возможно измерять парциальные давления ниже 10-14 торр.
В качестве опции квадрупольных масс-спектрометров серии ХТ могет быть встроенный умножитель электронов. В этой улучшенной и более чувствительной системе каждый анализируемый ион вызывает лавину электронов, в результате чего может происходить усиление тока более чем в миллион раз. При стандартных настройках обычно происходит усиление тока от тысяч до десятков тысяч, что приводит к аналогичному усилению чувствительности RGA. Что еще более важно, отношение спектров сигнал/шум можно уменьшить до значений, меньше 1/1000 по сравнению со стандартным цилиндром Фарадея. С установленным умножителем электронов производятся анализаторы остаточных газов серий XT100M, XT200M, и XT300M.
