Полностью
герметичный гермоввод вращения. Подходит для сверхвысоковакуумных процессов на
пределе регистрации давления и на уровне натекания соединения ConFlat, допускается отжиг без снятия ввода и его
частей с камеры. Стандартн..
Магнитный вакуумный ввод производства ООО "ВЛС-Инжиниринг" обеспечивает вращательное и линейное перемещение при низкой нагрузке как в условиях высокого, так и сверхвысокого вакуума. Ввод выполнен на фланце CF40, длина хода вала 50..
Вакуумные вводы движения
Во многих применениях требуется передача механических движений в вакуумную систему. Для ввода различных движений (вращательных или поступательных) используются различные системы с магнитами и без них:
Эластомерные уплотнители для высокого вакуума или системы, уплотнённые мембранным сильфоном, для применений в сверхвысоком вакууме. Сильфонные вводы движения отличаются высокой точностью и воспроизводимостью движений. Эти системы свободны от влияния магнитных полей, что очень важно для многих применений.
Системы с магнитным соединением. Движение передаётся на вал в вакууме с помощью атмосферного устройства магнитным сцеплением. Целиковый корпус соединён только с вакуумом. Сильные магниты обеспечивают надёжное сцепление, позволяющее передачу больших крутящих моментов и аксиальную нагрузку.
Механические движения ввода с магнитнофлюидным уплотнителем. Здесь используется магнитная жидкость с низким давлением пара. Под действием специальных полюсных наконечников и сильных магнитов магнитная жидкость удерживается в магнитном поле, сохраняя свойства жидкости и образуя уплотнение. Магнитные поля остаются внутри корпуса, так что вне ввода действует лишь слабое поле рассеяния.
Для передачи комплексных движений в высокотребовательных применениях используют манипуляторы, позволяющие параллельную передачу различных линейных и вращательных движений и оснащенные системами для нагрева или охлаждения образцов.