Вакуумные датчики Leybold GmbH для различных давлений
Базовая информация о средствах измерения вакуумаВ настоящее время нижний порог определения абсолютного давления вакуума составляет 10-12 мбар. Устройства для определения давления в данном диапазоне ниже давления атмосферы называются вакуумметрами.
Стоит заметить, что из-за различных принципов измерения давления в различных диапазонах невозможно произвести одно измерение вакуума на всем диапазоне прибором (сенсором/ вакуумметром). По этой причине компания Leybold GmbH выпускает данные приборы различных типов. Среди них всегда можно выбрать подходящее решение для конкретной задачи.
Датчик вакуума существует основных двух видов: косвенного и прямого измерения. Показания второго от типа газа совершенно не зависят. А что касается показаний косвенного измерения, то здесь уже речь идет про результаты измерения параметра чувствительного элемента (например, теплопроводности, сопротивления, ионизационной способности и так далее).
Измерение косвенных параметров чувствительного элемента не 100% решение для измерения давления во всех диапазонах - для всех вакуумметров указаны как торрировочные кривые для различных газов, так и, различные погрешности для диапазонов. Атомная масса вещества, которая есть в газе, при измерении его косвенным методом оказывает влияние на результат измерения.
Механический вакуумметр типа BOURDON от Leybold GmbHВ механическом вакуумметре ролью чувствительного элемента служит спиральная трубка, присоединение внутренней полости которой присоединяется к объему. Вследствие разницы между стенками трубки - снаружи и внутри, происходит пластическая чувствительной трубки.
Актуальное давление показывает стрелка на специальной шкале. С помощью датчика BOURDON можно производить измерения давления вакуума от 10 мбар до 1000 мбар (атмосферное давление) включительно с погрешностью в один процент от максимального значения шкалы.
Механические вакуумметры Bourdonvac газонезависимыеМеханический вакуумметр капсюльного типа (с диафрагмой) от Leybold GmbH
Данный вакуумный датчик имеет в своей конструкции вакуумированный капсюль со специальной диафрагмой. Когда давление в измеряемом объеме меняется меняется и давление на диафрагму (давление между измеряемым объемом и капсюлем), что меняет показание вакуумметра.
С помощью данного датчика можно производить измерения давления вакуума от 1000 мбар (атмосферное давление) до 1 мбар включительно с погрешностью 1%, 1.6%, 2.5% от максимального значения шкалы.
Механические диафрагменные вакуумметры газонезависимые.