узнать цену
41B, 42B, 51B, и 52B компактные, надежные реле давления которые работают со входным напряжением 10-20VDC или 20-30VDC. Их переключаемое давление настраивается от 5% до 100% от полной шкалы. Пределы измерения от 10 Торр (13 мб..
узнать цену
41B, 42B, 51B, и 52B компактные, надежные реле давления которые работают со входным напряжением 10-20VDC или 20-30VDC. Их переключаемое давление настраивается от 5% до 100% от полной шкалы. Пределы измерения от 10 Торр (13 мб..
узнать цену
Модульные вакуумметры 275 Mini-Convectron отличаются компактными размерами и значительно сниженными затратами на монтаж. Эти вакуумметры Granville-Phillips идеально подходят для приложений, где критически важны размер контрол..
узнать цену
Модуль вакуумметра Micro-Ion® Plus 356001-YE-T оснащен иридиевой нитью с покрытием из иттрия для измерения вакуума до 1 x 10 -9Торр. Дополнительный позолоченный вольфрамовый датчик теплопотерь позволяет проводить измерен..
узнать цену
Модуль вакуумметра Micro-Ion® Plus 356001-YE-T оснащен иридиевой нитью с покрытием из иттрия для измерения вакуума до 1 x 10-9 торр. Дополнительный позолоченный вольфрамовый датчик теплопотерь позволяет проводить измерения в атмос..
Датчики MKS
Датчик Баратрон - это прибор по своей надежности и стабильности своих характеристик не имеющий себе равных на мировом рынке. Именно это позволило ему занять 90% мирового рынка среди подобных датчиков.
Датчики давления Баратрон позволяет измерять дифференциальное и абсолютное давление в разбросе от 10-6 мбар до 35 бар с точностью от 0,25% до 0,05%. Самые последние модели позволяют измерять давление до 200 бар с точностью 1% от показания.
Датчик Баратрон в разрезе состоит из металлической ячейки, разделенной на две части плоской туго натянутой металлической диафрагмой, с одной стороны которой расположены электроды. Диафрагма с электродами образуют две переменные емкости, которые включены в плечи измерительного моста. Когда давление по обеим сторонам диафрагмы одинаково, мост сбалансирован. Изменение давления в одной из камер изменяет емкости, деформирует диафрагму, разбалансируя мост. Полученный сигнал дисбаланса демодулируется и усиливается, образуя на выходе сигнал постоянного тока.
Сегодня все сенсоры изготавливаются с электродами, расположенными только с одной стороны от диафрагмы. Получается, газ, давление которого необходимо измерить, будет находиться в контакте только с камерой, выполненной из нержавеющей стали или инконеля. Это дает возможность проводить измерения, не зависящие от рода газа, и позволяет использовать датчик для измерения давления загрязненных, агрессивных, коррозийных радиоактивных газов, смесей газов неизвестного состава, а также очень чистых газов.
В абсолютной модели с опорной стороны давление откачивается до 10-7 мм.рт.ст., которое поддерживается в течение весьма длительного времени химическим геттером. В дифференциальной модели камера с электродами совсем открыта, в нее подается опорное давление, что обеспечивает прямое (не косвенное) измерение дифференциального давления с наименьшей погрешностью. В лучшей модели избыточного давления камера с электродами сообщается с атмосферой. Электроды выполнены из керамики, покрытой палладием.
ТОЧНОСТЬОдним из первых преимуществ датчиков Баратрон является их высокая точность (от 1% до 0,05% от показания) при широком диапазоне измерения давлений (3 - 5 декад). К примеру, Баратрон 690 с полной шкалой (верхним пределом, ВП) 1000 торр и точностью 0,12% от показания обеспечивает измерения с указанной точностью в диапазоне от 10-2 торр до 1000 торр, т.е. пять декад. Точность датчиков является суммой ошибок, вызванных гистерезисом, нелинейностью, неповторяемостью и определяется в процентах от ПОКАЗАНИЯ.
Погрешность датчиков Баратрон включает также температурные погрешности и разрешение.
НЕЛИНЕЙНОСТЬ - это разность между идеальной прямой и выходным сигналом датчика, проведенной от нуля до величины напряжения, соответствующей полной шкале прибора.
ГИСТЕРЕЗИС - это разность между полным выходным сигналом датчика, полученным при изменении давления от нуля до полной шкалы и выходным сигналом, полученным при изменении давления от полной шкалы до 0.
НЕПОВТОРЯЕМОСТЬ - это разность между последовательными измерениями одного и того же давления, проведенными в одинаковых условиях и идентичными методами.
Все описанные факторы определяются конструктивными особенностями и калибровкой каждого датчика.
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ
Температурные изменения являются внешним фактором, т.к. определяются окружающей средой. Поэтому температурные ошибки приводятся отдельно в виде температурных коэффициентов.
Для уменьшения влияния изменения температуры на показания датчика Баратрон разработано и внедрено ряд конструктивных мер:
- температурную компенсацию (компенсация выходного сигнала в соответствии с изменениями температуры)
- термостатирование (поддержание постоянной температуры внутри сенсора)
В наиболее точных моделях 600-й серии применяются оба метода, что дает возможность в итоге получить температурный коэффициент дрейфа нуля лучше, чем 0,0004% ВП / 1°С, температурный коэффициент по углу наклона выходного сигнала лучше, чем 0,002% от показания / 1°С. Также должен быть предпринят ряд мер самим заказчиком: расположить датчик вдали от сквозняков, прямого солнечного света, устройств, являющихся источником сильного изменения температуры.
МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ
Датчики Баратрон являются долговечными и надежными приборами при условии правильного обращения с ними.
Датчик, упавший со стола или другой поверхности, будет безнадежно испорчен из-за повреждения мембраны. Цена ячейки, которую придется заменить, составляет 80% стоимости прибора.
В документации на датчик указано допустимое превышение давления. Но всегда при развакуумировании системы давление до величины 150% ВП должно повышаться плавно (единицы секунд), и только затем его можно изменять скачком до атмосферного. Несоблюдение этого правила ведет к повреждению мембраны.
