| Турбомолекулярные насосы | |||||
| Охлаждающая вода |
|
||||
| Комплект поставки | Интегрированный контроллер; Кабель питания; Струбцины, центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton (для фланцев ISO-K) или медное уплотнительное кольцо (для фланцев CF); Руководство пользователя на русском языке; Гарантийный талон. | ||||
| Выходное соединение | KF40 | ||||
| Входное соединение |
|
||||
| Подшипники | Полный магнитный подвес | ||||
| Скорость вращения, об/мин. | 27000 | ||||
| Время запуска, мин. | ≤8 | ||||
| Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 | ||||
| Максимальное давление запуска, Па | N2:250 | ||||
| Максимальное форвакуумное давление, Па | <60 | ||||
| Монтажное положение | Любое | ||||
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 |
|
||||
| Предельный вакуум, Па |
|
||||
| Охлаждение | Водяное(5-40℃) | ||||
| Скорость откачки, л/с |
|
||||
| Коэффициент сжатия |
|
||||
| Вес, кг |
|
||||





